法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-12-04
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):F04D29/04 授权公告日:20041013 终止日期:20121013 申请日:20031013
专利权的终止
2004-10-13
授权
授权
机译: 一种纳米加工方法,其中使用了可固化的抗蚀膜,以及一种包含抗蚀膜的物品
机译: 一种纳米加工方法,其中使用了可固化的抗蚀膜,以及一种包含抗蚀膜的物品
机译: 一种纳米加工方法,其中使用了可固化的抗蚀膜,以及一种包含抗蚀膜的物品