基于压电驱动器的二维超精密定位、抑振微动工作平台

摘要

本实用新型公开了一种基于压电驱动器的二维超精密定位、抑振微动工作平台。在金属平板上的X、Y方向上开有通槽，形成柔性铰链臂和柔性铰链的Y向工作平台；位于Y向工作平台内的金属平板的X、Y方向上开有另一通槽，形成柔性铰链臂和柔性铰链的X向工作平台，在X、Y向的工作平台上分别对称装有一对压电驱动器。它是一种复合平行四杆结构，具有导向精度高、无间隙、导轨定位分辨率高、加工精度易于保证、不需要装配等优点。在同一方向上采用双驱动器形式，且两维工作平台构成镶嵌形式，消除了相互之间的位移耦合，使整个微动系统具有很高的定位精度和较好的抑振效果。本实用新型可用于高精度、超高精度的切削加工定位，同时适用精密仪器设备的抑振、减振。