强束流大束斑金属蒸气真空弧离子源

摘要

一种强束流大束斑金属蒸气真空弧离子源，采用凸形引出电透镜，引出电极的曲率和透射率横向逐渐增大，并采用大的阳极孔配合聚焦磁场。强制增加离子束横向发散以便在较小的距离同时获得较为均匀的强束流和大束斑。