公开/公告号CN2109397U
专利类型实用新型
公开/公告日1992-07-08
原文格式PDF
申请/专利权人 核工业西南物理研究院;
申请/专利号CN92202269.0
发明设计人 耿漫;
申请日1992-02-13
分类号C23C14/48;
代理机构核工业专利法律事务所;
代理人刘世权
地址 610041 四川省成都市432信箱
入库时间 2022-08-21 22:34:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
1999-04-14
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
1997-05-07
专利权有效期的续展(依据修改前的专利法第45条)
专利权有效期的续展(依据修改前的专利法第45条)
1993-02-17
授权
授权
1992-07-08
公开
公开
机译: 用于测量束斑轮廓的方法和用于记录用于执行束斑轮廓的程序的记录介质,从而能够精确地测量束斑轮廓
机译: 自动聚焦能力强的斑点曝光设备的装置和方法,可以通过执行斑束的聚焦校准来快速实施曝光过程
机译: 具有大束斑尺寸的光辐射装置和空间光通信装置