等离子体混合气相法制备纳米微粒的装置

摘要

本实用新型涉及等离子体混合气相法制备纳米微粒的装置,其特征在于:包括石英波导管8,石英波导管8内依次设有磁控管7、触发电极5、四周的石英波导管8内壁上分别设着进料管1、进气管2和进气管3,其外部设有高频线圈6、激励线圈9,其下部连通着反应室。本实用新型将用于不同材料的纳米微粒的制备机构设计在一个装置中,使其具有更多的功能和更广泛的适用范围,实现一机多用。该装置为气相法制备纳料微粒的装置,设计合理,结构简单。