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等离子体发生器制备纳米微粒

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介绍了等离子体发生器化学气相反应法(CVD)的工作原理和直流电弧主电路,并对此法制备金属纳米和金属纳米氧化物过程中温度、颗粒形态的控制进行了分析.

著录项

来源
《纳米科技》 |2004年第4期|35-37|共3页
作者
何蓉;
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作者单位

北京山川联合纳米科技有限公司,北京,密云,101500;

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正文语种 chi
中图分类理论;
关键词
化学气相法; 等离子体发生器; 温度; 形态;

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