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等离子体气相法制备纳米材料

摘要

纳米材料制备及性能表征是当前纳米科技研究中最为活跃的领域.本文探讨一种工艺过程易于控制并适合制备多种纳米材料的纳米粉末材料制备方法,即射频等离子体气相合成方法.通过纳米材料制备的实例,性能表征和初步应用研究结果表明,这种方法具有较大的技术优越性.

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