硅锗/硅异质结内发射红外探测器

摘要

本实用新型属红外探测器技术领域,具体为一种3—5μmSiCe/Si异质结内发射红外探测器。其中的红外探测窗口为由分子束外延长的Si_1—xGe_x/Si异质结材料。该红外探测器工作波段为3-5μm,工作温度为80K,最高可达到105K,具有良好的性能。例在室温环境中可以用液态氮作致冷剂进行工作,而在太空中(温度为105K)则不需要任何制冷剂而工作;探测器还具有高的黑体响应率和黑体探测率;可采用大尺寸硅片研制;成品率高,均匀性好,适宜于制作大规模红外探测器焦平面阵列;有优越的性能价格比。