脉冲激光淀积装置

摘要

本实用新型涉及一种脉冲激光淀积装置。由真空室、转靶机构、样品架、加热炉、离子枪和真空抽气装置组成,其中真空室为球形,转靶机构和样品架分别安装在真空室里,相对设置,在一个中心线上,所述真空室球体上设有多个法兰窗,其中两个法兰窗在激光入射束与转靶机构靶面相交45°角处,于样品架两侧,安装离子枪于转靶机构一侧的真空室球体上,加热炉设在样品架上的两个磁力轴间,真空室底部与真空抽气装置接通。其设计合理、工作方便,效率高、噪声低。