蚌形双室柱状弧源多弧离子镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种蚌形双室柱状弧源多弧离子镀膜机,镀膜室由两部分组成,一部分是固定不动的共用体,另一部分是可以开合移动的前门,两个前门的中央分别装入旋转磁控柱状弧源,利用柱弧源产生的冷场致弧光放电过程使被镀靶材蒸发,离化进行离子镀膜。两个前门一开一合,轮换与固定体扣合进行镀膜,整机结构简单、操作简便、镀膜均匀区大、成本低廉。适用于表面镀膜和离子渗金属技术,尤其适于镀氮化钛涂层。