一种用于真空制膜设备的活化气体装置

摘要

本实用新型涉及真空制膜设备中的装置。本实用新型为提供一种结构简单、活化气体效率高、可直接用于真空室内的活化气体装置。本实用新型由呈锥形的真空放电管用法兰盘把它密封固定在真空室内，电极(3)与引入真空室内的电阻(4)相接，电极(2)与地端相接，限流电阻与电极和高压电源(5)的高压端相接组成。该装置可用于多种制膜设备中，使用方便，气体活化效率高达。