用于聚合物材料等离子体表面改性的装置

摘要

本实用新型涉及一种等离子体表面改性技术应用的装置，本实用新型提供一种由下、上法兰盘内带有真空橡胶密封圈的封盖与不锈钢圆筒组成的反应室，反应室内壁固定有一对与外接射频电源相匹配的电极、电极导电棒、电极绝缘板，在下法兰盘上固定有抽、充气接口和真空测量部件组成的用于聚合物材料等离子体表面改性装置。该装置容量大，结构紧凑，操作方便，该装置全部用金属制作，防止射频泄漏，保证操作人员安全。