高灵敏度长度测量干涉仪

摘要

本实用新型提供了一种高灵敏度长度测量用的干涉仪，适合于测量长度、微小位移量。它是在G·W·stroke干涉仪上，增加了棱镜和平面反射镜。它在不需电子倍频装置的情况下，可使测量格值为任意值。通过增减棱镜的个数，满足不同测量灵敏度的要求。