使用包含低质量种类和高质量种类二者的离子源的导航和样本处理

摘要

一种用于使用FIB系统对衬底进行成像和铣削的改进方法和设备。本发明的优选实施例使用由相同射束光学器件聚焦于相同焦点的轻和重离子的混合物，来在轻离子穿透至样本中更深处以允许生成表面下特征的图像时同时铣削样本表面（主要利用重离子）。在其他使用当中，本发明的优选实施例提供了可用于诸如背面电路编辑之类的各种电路编辑应用的导航和样本处理的改进方法。