基于偏转角度的单幅图像快速相移系统及相位检测方法

摘要

本发明公开了一种基于偏转角度的单幅图像快速相移系统及方法，其特征是由激光器出射的物光照射到被测物面形成激光散斑干涉，被测物表面的回程物光投照在CCD摄像机的靶面阵列上；激光器出射的参考光经由准直组件和反射镜，以角度α照射在CCD摄像机的靶面阵列上，并与回程物光在CCD摄像机的靶面阵列上的形成激光干涉现象，调整角度α的大小，使相邻的两个像素点上参考光存在120°的光程差，根据CCD摄像机记录的信息中的三个相邻相素点的数值计算获得激光干涉现象的相位值。本发明在散斑干涉中只使用单幅图像实现快速相位检测，无需使用时间相移方法所需的PZT位移微动系统。