公开/公告号CN103069342B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-03-09
原文格式PDF
申请/专利权人 卡尔蔡司SMT有限责任公司;
申请/专利号CN201180039014.9
发明设计人 R.弗赖曼;
申请日2011-06-15
分类号
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人邱军
地址 德国上科亨
入库时间 2022-08-23 09:36:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-03-09
授权
授权
2013-05-29
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20110615
实质审查的生效
2013-04-24
公开
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