微工程多极离子导向器

摘要

描述了一种微工程多极离子导向器，所述微工程多极离子导向器用于小型质谱仪中。描述了以六极、八极和其它多极几何形状来装配极杆的示例方法。形成离子导向器的极杆被支撑在至少在第一和第二基板中限定的蚀刻硅结构中。