具有短再激恢复时间的测试器及测试方法

摘要

用于半导体器件的自动测试设备。该自动测试设备包括大量的电子电路通道，其中产生有精确定时的测试信号。通过在一个集成电路芯片上结合多个通道，在成本和尺寸上都可以获得显著的优点。为了达到这种集成度同时不降低定时的精度，采用了一系列的设计技术。这些技术包括使用保护环和保护层、相对于电路元件设置保护环和保护层、对每个通道电源与地的分立信号路径、以及允许由滤波器电容两端的电压限定一个校正信号的电路设计。所公开实施例的另一个特征是微调延迟元件设计，其可被控制以将变化延迟，并包括校准功能。还公开了一个特征，即一种允许测试器具有短的再激恢复时间的电路。