法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-03-09
授权
授权
2013-06-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L7/08 申请日:20110621
实质审查的生效
2013-05-01
公开
公开
机译: 用于电容式MEMS压力传感器的膜和形成电容式MEMS压力传感器的方法
机译: 具有过压安全性的电容式微分压力传感器和一种用于电容式压力传感器的过压安全性的方法。
机译: 密封评估装置,用于评估例如包装,具有电容式传感器,用于测量接收包装的储罐内部连接的两个压力传感器之间的压力差