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公开/公告号CN103700576B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-03-02
原文格式PDF
申请/专利权人 西安文理学院;
申请/专利号CN201310694281.0
发明设计人 畅庚榕;马飞;徐可为;韩婷;
申请日2013-12-17
分类号H01L21/00(20060101);H01L21/20(20060101);
代理机构61217 西安西交通盛知识产权代理有限责任公司;
代理人王艾华
地址 710065 陕西省西安市太白南路168号
入库时间 2022-08-23 09:36:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-03-02
授权
2014-04-30
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/00 申请日:20131217
实质审查的生效
2014-04-02
公开
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