紫外线照射装置、紫外线照射方法、紫外线照射装置的制造方法

摘要

本发明公开了一种紫外线照射装置，具有：金属卤化物灯，金属卤化物灯具有筒状的、石英玻璃材料的发光管；双层管，双层管具有筒状的、石英玻璃材料的作为第1管的内管和筒状的、石英玻璃材料的作为第2管的外管，内管被设置于以筒状包围金属卤化物灯的发光管的位置，外管被设置于以筒状包围内管的位置，第1管和第2管之间的空间为被封闭的空间以使得流体能够在第1管和第2管之间的空间内流动；以及含有钛的氧化膜，氧化膜形成设置于双层管的外管的外表面上，或者形成设置于双层管的内管的与金属卤化物灯相对的面上，膜厚为0.3μm以上、1.3μm以下。本发明还公开了紫外线照射方法、以及紫外线照射装置的制造方法。