一种栅控行波管栅网的皮秒脉冲激光切割制备方法

摘要

本发明公开了一种栅控行波管栅网的皮秒脉冲激光切割制备方法，该方法首先对栅网材料进行清洗、烧氢退火处理，再用模具在冲床上压制成曲率半径精度高的球面栅网毛坯，然后对毛坯进行去应力烧氢处理，消除加工过程中的应力，从而保证栅网球冠曲率半径的稳定性；最后采用优化工艺的皮秒级脉冲激光进行栅网的切割，制备得到尺寸精度高、一致性好的栅控行波管栅网。本发明提供的栅控行波管的栅网的制备方法，通过大量实验筛选皮秒级的激光切割的具体工艺参数，可操作性强，工艺设计合理，应用范围广泛，制备得到的栅网尺寸精度高，一致性好，良品率高，可靠性高，具有重要的应用价值，可以有效地解决现有电火花加工栅网技术的不足。