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一种基于激光干涉诱导反应的晶体硅制绒工艺

摘要

本发明属于太阳电池技术领域,具体公开基于激光干涉诱导反应的晶体硅制绒工艺。其具体步骤是:(1)腐蚀处理:硅片通过腐蚀去除表面的机械损伤;(2)将硅片放入室温的一定浓度的碱性溶液中;(3)通过激光局部加热浸泡在强碱溶液中的晶体硅片:(4)形成绒面:用干涉激光扫描整个硅片,直到硅片表面形成均匀的绒面。该制绒工艺不需要太高功率的激光器,节约能源和加工成本;而且其工艺是被控制在光斑以内而对其他位置的硅片影响很小;此外,其制作过程简便快捷;在制绒过程中不会产生有毒气体,避免了对工人的身体健康和环境带来的不利影响;其能大大提升工艺过程的速度,具有很好的产业化前景;能极大地提高电池的效率。

著录项

  • 公开/公告号CN102709163B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-02-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中山大学;

    申请/专利号CN201210165251.6

  • 发明设计人 沈辉;刘超;梁齐兵;

    申请日2012-05-24

  • 分类号

  • 代理机构广州新诺专利商标事务所有限公司;

  • 代理人罗毅萍

  • 地址 510006 广东省广州市大学城外环东路132号中山大学工学院C501

  • 入库时间 2022-08-23 09:35:05

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-02-24

    授权

    授权

  • 2012-11-28

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/268 申请日:20120524

    实质审查的生效

  • 2012-10-03

    公开

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