法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-02-03
授权
授权
2013-03-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B5/30 申请日:20110510
实质审查的生效
2013-01-30
公开
公开
机译: 制造掩模坯料基板的方法,制造多层涂覆有反射膜的基板的方法,制造反射掩模坯的方法,制造反射型掩模的方法,涂覆有多层反射膜的基板,反射掩模的坯料,反射型掩模,透射型,掩模坯料的制造方法,制造方法以及透射型掩模的半导体装置的制造方法
机译: 用于住宅内部绝缘的多层型绝缘子,其绝缘部分的子部分具有包括干燥气泡的耐火聚乙烯膜层,其中该部分布置在两个带有铝膜的反射层之间
机译: 多层反射绝缘材料,例如房屋结构,具有覆盖部分金属化反射膜的纤维,以及由金属化框式密封膜上的棉絮膜和聚乙烯泡沫组成的多层组件