法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-11-17
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/44 登记生效日:20171030 变更前: 变更后: 申请日:20120202
专利申请权、专利权的转移
2016-02-03
授权
授权
2013-11-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/44 申请日:20120202
实质审查的生效
2013-10-09
公开
公开
机译: 在尺寸非常小的结构中实现硅化物,锗化物或锗硅化物形成的方法并扩大工艺窗口的方法
机译: 在尺寸极小的结构中启用硅化物,锗化物或锗硅化物形成过程并扩大过程窗口的方法
机译: 一种扩大尺寸的结构中形成硅化物,锗化物或锗硅化物的方法的方法和扩大工艺窗口的方法