检测和判定变形薄膜滤光片光特性合格区域的方法

摘要

检测和判定变形薄膜滤光片光特性合格区域的方法，涉及到薄膜滤光片光学特性检测技术领域。解决变形薄膜滤光片光特性合格区域难度大的技术问题，步骤：A、单独测试出未镀膜光学玻璃基板的透过率曲线，作为参考基线；B、未镀膜光学玻璃基板与同炉未变形镀膜样品的镀膜面相胶合，测试出该复合层样品的透过率曲线；C、将复合层样品透过率曲线与相同环境下的理论设计数据进行对比，得出偏移量；D、单独测试已镀膜未变形样品垂直入射时的透过率曲线，得出变形薄膜滤光片光特性合格区域的评价标准；E、对变形薄膜滤光片进行垂直入射打点测试，根据D步得出的评价标准，判定所述打点区域透过率曲线是否合格，从而得出变形薄膜滤光片的合格区域。