扫描电镜的电子束的检测方法、微细图形的检测方法

摘要

一种扫描电镜的电子束的检测方法、微细图形的检测方法，其中，本发明的扫描电镜的电子束的检测方法，包括：提供检测样品，检测样品表面形成有沿第一方向的直线图形；提供相同曝光工艺下标准模型的功率谱密度曲线；通过扫描电镜获取检测样品的直线图形的边缘轮廓；以固定采样频率对检测样品的直线图形的边缘轮廓进行采样，得到各采样点处的直线图形沿第二方向的变化幅度；根据所述变化幅度，得到检测样品的功率密度曲线；比较检测样品的功率密度曲线和标准模型的功率密度曲线，判断电子束在第二方向上的质量是否合格。本发明实施例中检测电子束的检测结果更为准确。采用经本发明实施例检测合格的电子束，检测微细图形，获得的尺寸精确。