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挠性半导体装置及其制造方法、使用该挠性半导体装置的图像显示装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种挠性半导体装置及其制造方法、使用该挠性半导体装置的图像显示装置及其制造方法。挠性半导体装置的制造方法包括:(i)在金属箔的一个主面上形成绝缘层的工序;(ii)在绝缘层上形成半导体层,并且以与该半导体层相接的方式形成源电极/漏电极的工序;(iii)以覆盖半导体层及源电极/漏电极的方式形成挠性薄膜层的工序;(iv)在挠性薄膜层中形成过孔,由此获得半导体装置前体的工序;以及(v)加工金属箔,从而从该金属箔形成栅电极的工序,在工序(v)中加工金属箔时,将半导体装置前体的过孔中的至少1个过孔用作定位标记,从而在规定位置形成栅电极。

著录项

  • 公开/公告号CN102812540B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-01-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 松下知识产权经营株式会社;

    申请/专利号CN201280000786.6

  • 发明设计人 铃木武;平野浩一;增田忍;

    申请日2012-02-21

  • 分类号

  • 代理机构中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人汪惠民

  • 地址 日本国大阪府

  • 入库时间 2022-08-23 09:33:28

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-01-20

    专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L21/336 登记生效日:20151231 变更前: 变更后: 申请日:20120221

    专利申请权、专利权的转移

  • 2016-01-20

    授权

    授权

  • 2014-03-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/336 申请日:20120221

    实质审查的生效

  • 2012-12-05

    公开

    公开

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