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一种生物细胞特性测量纳米电极阵列结构及其制造方法

摘要

本发明涉及一种生物细胞特性测量纳米电极阵列结构及其制造方法,该电极阵列主要用于细胞电特性测量。克服现有技术电极尺度较大的不足,提出一种纳米电极阵列方案,并利用激光干涉光刻技术方法通过直接或间接制造,提供了该纳米电极阵列的制造方法。以及利用该纳米电极阵列测量细胞电信号特性的方法,该纳米电极阵列可获得在亚细胞水平上揭示细胞细节信号的变化,有利于对细胞生物特性进行更好的研究,获得比以往更精细的结果,提高细胞电信号测量分辨率。同时本发明纳米电极阵列制造方法性能可靠,具有制造成本较低的优势。

著录项

  • 公开/公告号CN103558368B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-12-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 长春理工大学;

    申请/专利号CN201310582012.5

  • 申请日2013-11-19

  • 分类号G01N33/48(20060101);B81C1/00(20060101);B81B7/04(20060101);

  • 代理机构11251 北京科迪生专利代理有限责任公司;

  • 代理人成金玉;孟卜娟

  • 地址 130022 吉林省长春市卫星路7089号

  • 入库时间 2022-08-23 09:33:25

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-12-30

    授权

    授权

  • 2014-03-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N33/48 申请日:20131119

    实质审查的生效

  • 2014-02-05

    公开

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