曝光用ＬＥＤ光源模块、曝光用ＬＥＤ光源装置及曝光用ＬＥＤ光源装置管理系统

摘要

本发明提供包括多个将LED（Light？Emitting？Diode）用作光源的光源单元的单一光源模块以能够以一个光源对半导体晶片、显示板等多种大小和种类的曝光对象物以及多种性质的光刻胶（Photo？resist，PR）进行曝光，并提供能够有效地控制并管理它的装置以及管理系统，从而提供能够精细而简便地调节曝光光源的强度而准确且快速地对曝光对象物进行曝光，且能够迅速而简便地处理故障的曝光用LED光源模块、曝光用LED光源装置以及曝光用LED光源装置管理系统。