法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-02
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F1/60 授权公告日:20160120 终止日期:20171115 申请日:20101115
专利权的终止
2016-01-20
授权
授权
2012-12-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F1/08 申请日:20101115
实质审查的生效
2011-06-29
公开
公开
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