公开/公告号CN103522294B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-12-09
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华虹宏力半导体制造有限公司;
申请/专利号CN201210231291.6
申请日2012-07-05
分类号
代理机构上海信好专利代理事务所(普通合伙);
代理人张静洁
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
入库时间 2022-08-23 09:32:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-12-09
授权
授权
2014-08-13
实质审查的生效 IPC(主分类):B25J15/00 申请日:20120705
实质审查的生效
2014-05-14
专利申请权的转移 IPC(主分类):B25J15/00 变更前: 变更后: 登记生效日:20140421 申请日:20120705
专利申请权、专利权的转移
2014-01-22
公开
公开
机译: 用于转移玻璃基板的末端执行器和具有该末端执行器的基板转移机械手
机译: 具有末端执行器的基板搬运机械手以及用于输送板状构件的末端执行器
机译: 末端执行器和用于传送具有该末端执行器的基板的机械手