改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及设备

摘要

本发明一种废气淋洗处理工艺及装置，特别涉及采用改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及装置，用以处理多种氯硅烷或氯化氢有害气体。属生产多晶硅产生的废弃物处理领域。该发明是在实验的基础上对多晶硅生产所产生废弃物进行的淋洗处理，通过控制淋洗所产生的废渣形态，利用专门的处理装置，设计出了处理能力大、残渣分离能力强和采用机械捞渣的废气处理装置。工艺采用10-15%NaOH碱液淋洗处理，通过碱液对废弃物进行淋洗，除去废弃物中的有害成分氯硅烷/氯化氢；产生的废渣通过全自动上下一体行车式往返刮板机刮入搅拌池，随后送入新型箱式压滤机进行固液分离，分离得到的干渣送渣场堆存，滤液回到淋洗塔循环池重复利用，净化后的尾气达到国家排放标准后排放。