公开/公告号CN103676490B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-11-25
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN201210353296.6
发明设计人 曹清晨;
申请日2012-09-20
分类号G03F7/20(20060101);G03F1/36(20120101);H01L21/66(20060101);
代理机构11336 北京市磐华律师事务所;
代理人高伟;付伟佳
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-23 09:32:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-11-25
授权
授权
2014-04-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20120920
实质审查的生效
2014-03-26
公开
公开
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