一种原位测量纳米器件的透射电镜样品台

摘要

本发明公开了一种原位测量纳米器件的透射电镜样品台，包括金属纳米探针、绝缘堵片和样品支撑台，所述绝缘堵片的正反表面分别设有多个金属电极，且对应的金属电极之间通过金属化通孔实现导电连接；所述样品支撑台一端与绝缘堵片连接，另一端设有取样区和测试区，所述测试区为设在样品支撑台表面并悬空的金属电极，样品支撑台的金属电极与绝缘堵片的金属电极为导电连接；所述金属纳米探针、测试区金属电极和被测样品构成三端场效应晶体管。本发明能够在原子尺度的分辨率下观察样品并实时进行电学测量，原位揭示待测单元的电学性能和纳米结构变化。