三氧低温灭菌器的多级抽真空装置及方法

摘要

三氧低温灭菌器的多级抽真空装置及方法，属于消毒灭菌设备技术领域。包括通过管路相并联的一级无油抽真空装置和二级含油抽真空装置，两级抽真空装置相并联后一端与灭菌舱相连，另一端与臭氧分解装置相连，干燥装置通过管路与灭菌舱相连。先采用无油真空泵把灭菌舱内的大部分臭氧气体抽出，然后再注入干燥无菌的空气，反复几次后的抽真空方法，可将灭菌舱内的绝大多数臭氧气体抽出，然后使用含油真空泵把灭菌舱内的真空度降到100Pa以下。采用两种抽真空方式级联，即可使灭菌舱内达到低于100Pa的真空度，又避免含油真空泵因抽取臭氧气体导致密封油的氧化而引起的抽真空能力的下降。