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使用改进的碳薄膜的场发射器件

摘要

一种场发射器件,该器件包括在衬底上的碳膜层,其中该碳膜层在1578~1620cm-1的范围内有第一紫外喇曼带,且该第一紫外喇曼带的最大高度的1/2处的全宽度(FWHM)为25~165cm-1

著录项

  • 公开/公告号CN1196156C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2005-04-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 毫微-专卖股份有限公司;

    申请/专利号CN98808023.0

  • 发明设计人 志丹·李·特尔;

    申请日1998-07-29

  • 分类号H01J1/02;C23C16/26;

  • 代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人张政权

  • 地址 美国得克萨斯

  • 入库时间 2022-08-23 08:57:13

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-09-23

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 1/02 授权公告日:20050406 终止日期:20140729 申请日:19980729

    专利权的终止

  • 2005-04-06

    授权

    授权

  • 2000-11-01

    实质审查请求的生效

    实质审查请求的生效

  • 2000-09-13

    公开

    公开

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