一种特种气体发生装置

摘要

本发明公开了一种特种气体发生装置，两路输入气体分别经进气管路流经质量流量计后，再经第一三通阀汇合成混合气体，该混合气体经第二三通阀后被分为浓度相同的两支路气体，两支路气体中的一路气体经流量计后，由出气管路输出一定浓度和流量的待配置气体；两支路气体中的另一路气体经用以调节出气管路输出气体流量的调节阀后，由排空管路排出。实施本发明的特种气体发生装置，能根据试验需求、利用已知浓度的少量几种标准气体配置各种浓度的氟化氢气体，氟化氢和六氟化硫的混合气体，甚至氟化氢、六氟化硫及其分解物；重量轻，易于携带，进一步降低人工及运输成本。