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凹面光栅衍射特性检测装置

摘要

一种凹面光栅衍射特性检测装置,其特征在于,包括:单色光发射部;检测对象安装部,被设置在所述单色光的光路上;探测部,用于探测所述单色光经过所述凹面光栅或所述凹面标准反射镜后所形成的出射光;驱动参数存储部,用于存储决定所述固定部和所述探测器位置的位置参数;驱动部;获取计算机部,用于获取所述探测器探测到的光学参数并且根据所述光学参数来进行采集、记录、分析以及处理;控制部。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-02-18

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01M11/02 授权公告日:20151111 终止日期:20190222 申请日:20130222

    专利权的终止

  • 2015-11-11

    授权

    授权

  • 2013-12-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01M11/02 申请日:20130222

    实质审查的生效

  • 2013-12-04

    公开

    公开

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