凹面光栅衍射效率测试仪

摘要

本发明公开了一种凹面光栅衍射效率测试仪，包括光源系统、测量单色仪和傅里叶光谱测量系统；所述傅里叶光谱测量系统包括开始有第二入射孔的第二壳体、设置于所述第二壳体内的沿光路传输方向依次布置的准直镜、分光立方体A、固定角锥体A、移动角锥体A以及聚光镜；经所述第一入射孔进入第一壳体的光能够直接照射在所述支撑台上的待测元件上，并由待测元件汇聚到出射臂上，进而经过出射臂照射在主探测器上。该凹面光栅衍射效率测试仪可以有效地避免待测凹面光栅与标准反射镜出射光谱宽度不一致、光栅叠级、仪器杂散光较大、光源稳定性较差影响测量精度的问题。