法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-31
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):D01F9/12 授权公告日:20151021 终止日期:20190816 申请日:20130816
专利权的终止
2019-02-26
专利权的转移 IPC(主分类):D01F9/12 登记生效日:20190201 变更前: 变更后: 申请日:20130816
专利申请权、专利权的转移
2015-10-21
授权
授权
2014-01-15
实质审查的生效 IPC(主分类):D01F9/12 申请日:20130816
实质审查的生效
2013-12-18
公开
公开
机译: 用于在基板上沉积沉积物的设备,用于在基板上沉积沉积物的系统以及用于在基板上沉积沉积物的方法
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