基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器的制备方法

摘要

本发明公开了一种基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器，包括：压电层、第一电极层、第二电极层、摩擦层、衬底层；压电层的上下两侧从内向外均依次设置有第一电极层、摩擦层、第二电极层、衬底层；摩擦层包括带有微米级结构的凸块。本发明还提供相应的制备方法。本发明采用经旋涂、沉积或静电纺丝工艺所得的PVDF等柔性压电材料，采用溅射、旋涂和蒸发等工艺获得各层金属电极层及金属化合物，采用倒模的方法制备柔性聚合物凸块静电摩擦层，同时采用柔性基底聚合物，同时结合压电与摩擦电原理，制作由中心压电层堆成的汉堡结构微型能量采集器。该器件具有结构简单，微细加工实现容易，体积可大可小，频带宽，转换效率高等特点。