异常接触检测方法、电子元器件保持装置以及电子元器件搬运装置

摘要

本发明的目的在于提供一种可在电子元器件的交付过程中检测电子元器件的异常接触的异常接触检测方法、电子元器件保持装置以及电子元器件搬运装置。本发明的异常接触检测方法中，通过升降用马达(4)，经由杆件(32)使下降力(Fr)对保持部(2)进行作用，且通过音圈马达(37)，对杆件(32)赋予与相对于下降力(Fr)的杆件(32)所受的反作用力(Fcr)相等的对抗推力(Fopp)，对响应于电子元器件(D)一边接触于承载带(61)一边下降时产生的阻力(Fd)的、杆件(32)对于音圈马达(37)的相对性上升进行检测，通过对杆件(32)的上升进行检测，而检测下降中途电子元器件(D)对承载带(61)的接触。