一种永磁微机器人在线圈系统中的无缆运动驱动方法

摘要

一种永磁微机器人在线圈系统中的无缆运动驱动方法，所述永磁微机器人是基于MEMS微加工技术，通过图形化光刻法工艺制备而成的薄膜结构;线圈系统是由多线圈构成的一种改进型的赫姆霍兹组合线圈结构，从该组合线圈结构的侧面看，四个侧面和下底面各有一个矩形线圈包围;线圈系统提供空间X-Y-Z方向的独立可控磁场，以便于永磁微机器人运动的动态建模;永磁机器人通过线圈系统形成的一定范围内均一强度和梯度的磁场，作用于永磁微机器人质心，产生动力学作用，驱动永磁机器人在线圈系统中进行振动加平移的二维平面运动。本发明制备简单、加工均一、能在多类型材料的平台上按规划路线准确行进、控制策略简易且运动精确度较高。