微悬臂梁弹性常数的溯源标定装置及溯源方法

摘要

本发明提供一种微悬臂梁弹性常数溯源标定装置，所述溯源标定装置的结构包括有大理石框架、纳米天平、微悬臂梁、三维微纳位移台、力加载杆、偏振差分干涉仪、仪器控制器、计算机与测控软件。同时提供一种微悬臂梁弹性常数的溯源标定装置的溯源方法。本发明的效果是使用该装置上实现了弹性常数值直接溯源到国际单位制SI。该装置将偏振差分干涉仪的测量光束在微悬臂梁自由端的上表面形成的微光斑与纳米天平上的力加载杆对微悬臂梁自由端的下表面加载时的力加载点完全重合并与重力方向一致，使得阿贝臂为零，遵守了位移测量的阿贝原则，避免了阿贝误差的产生，保证了溯源仪器的测量准确度。可以保证不同实验室利用微悬臂梁进行微力测量的统一性、可靠性和可比性。