法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-10-14
授权
授权
2013-07-17
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20051118
实质审查的生效
2013-06-12
公开
公开
机译: 位置控制装置,具有该位置控制装置的曝光装置,由该曝光装置制造的装置,位置控制方法,以及使用该位置控制方法的曝光方法,以及具有该曝光方法的装置制造方法
机译: 位置测量方法,位置控制方法,测量方法,加载方法,曝光方法和曝光装置以及设备制造方法
机译: 位置测量方法,位置控制方法,测量方法,加载方法,曝光方法和曝光装置以及设备制造方法