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公开/公告号CN101057316B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-03-06
原文格式PDF
申请/专利权人 尼康股份有限公司;
申请/专利号CN200580038725.9
发明设计人 安田雅彦;杉原太郎;
申请日2005-11-18
分类号H01L21/027(20060101);G01B11/00(20060101);G03F7/20(20060101);H01L21/68(20060101);
代理机构11019 北京中原华和知识产权代理有限责任公司;
代理人寿宁
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:13:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-03-06
授权
2007-12-12
实质审查的生效
2007-10-17
公开
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