基于自适应光学的激光微细加工设备和方法

摘要

本发明公开一种基于自适应光学的激光微细加工设备和方法，其通过自适应光学技术，可以动态调地调激光加工设备的光路状态，可以有效地解决激光加工设备采用飞行光路所带来的焦点大小、焦深改变、焦点位置偏移得问题；同时，还可以利用自适应光学技术系统的产生高斯光、平顶光、超高斯光等光强分布，并利用得到的光强分布进行激光切割、激光打孔。因此，基于自适应光学的自动化激光加工设备，可以提高系统的稳定性、准确性以及实用性。