射频(RF)功率滤波器及含射频功率滤波器的等离子体处理系统

摘要

一种用于过滤由等离子体处理系统中的静电卡盘（ESC）传送的射频（RF）功率的滤波器。该等离子体处理系统可以包括设置在该ESC的加热元件。该滤波器可以包括核心构件和电缆，该电缆缠绕并且沿着核心构件缠绕从而形成电感器组。该电缆可以包括多个导线，该多个导线包括第一导线和第二导线，该第一导线的一部分和该第二导线的一部分扭结在一起，该第一导线的第一端和该第二导线的第一端与加热元件相连，该第一导线的第二端和该第二导线的第二端中的每一个与电容器相连并且与功率源相连。