长时间退火的集成电路装置及其制造方法

摘要

本发明尤其涉及通过长时间退火可去除通路板或者通路盖层上的阻挡材料的方法。同时或作为替代，该长时间退火是一种使用阻挡材料(110)涂覆轨迹(106)的简单和直接的方法。